【摘要】在不同粗糙度和硬度的GCr15轴承钢基体上，利用多弧离子镀技术低温(175℃)沉积TiAICN涂层．利用扫描电子显微镜(SEM)、AFM、EPMA、XRD和附着力测试仪等研究了薄膜形貌和性质．结果表明：基体越平整，制备的涂层表面也就越平整；薄膜附着力随着表面粗糙度的增大而减小，在基体粗糙度为0. 01 lum时，薄膜附着力达到最大值42.8 N;基体硬度越高，膜／基附着力越大，在基体硬度为835 HVo.oi时，附着力达到最大值31.2 N；在涂层中，发现了晶体结构为fcc-TiN结构，衍射图中没有AIN相出现，这是TiN相优于AIN相而形成的缘故．
【关键词】
《新农业》 2015-11-24
《陕西科技大学学报（自然科学版）》 2015-11-24
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《课程教材教学研究（小教研究）》 2015-11-24
《辽宁师范大学学报（社会科学版）》 2015-11-25
《中国设备工程》 2015-11-24
《糖尿病新世界》 2015-11-24
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010-56259535
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